Dow Corning® 702, 704 и 705 жидкости для вакуумных насосов разработаны для высокого вакуума и быстрого накачивания больших объемов газов и паров

Dow Corning 702 Diffusion pump fluid главным свойством этой специально разработанной жидкости является быстрое накачивание больших объемов газов и паров. Это позволяет производить вакуум от 10^-5 до 10^-7 торр. Даже при использовании в вакуум-эжекторном насосе позволяет достигать вакуума от 10^-4 до 10^-5 мм рт.ст.

Dow Corning 704 Diffusion pump fluid – однокомпонентная жидкость для высокого вакуума 10^-6 – 10^-8 (неуловленный) и 10^-10 – 10^-11 мм рт.ст. (уловленный). Хорошо работает в жестких и трудных условиях и обеспечивает быструю откачку даже после внешнего воздействия воздуха и температуры.

Dow Corning 705 Diffusion pump fluid – бесцветная или светло-соломенная однокомпонентная жидкость для применений требующих создание ультравысокого вакуума 10^-9-10^-10 торр (неуловленный) и 10^-11 торр (уловленный). Давление паров и обратно-потоковый коэффициент Dow Corning 705 Diffusion pump fluid очень низкие, что позволяет не использовать ловушки или охлаждение для создания ультравысокого и ультрачистого вакуума.

Основные преимущества кремнийорганических жидкостей:

Минимизированный обратный поток: давление паров однокомпонентной силиконовой жидкости настолько низкое, что использование улавливателей или охлаждение существующих улавливателей перестает быть необходимым для многих применений.

Более длительный срок эксплуатации: термическая и химическая стабильность силиконовых жидкостей позволяет им работать очень длительный период без ухудшения показателей или загрязнений.

Системы очистки (фильтры), низкие затраты на обслуживание: Низкое давление паров силиконовых жидкостей при температуре отвода дает в результате снижение потерь жидкости. Внутренние поверхности насосов остаются чистыми; силиконовые жидкости не разлагаются и создают фактически безаварийные условия работы.

Быстрая циркуляция, уменьшение времени простоя оборудования, снижение частых замен жидкости: коэффициент восстановления силиконовых жидкостей после воздействия воздуха и рабочих температур во много раз быстрее, чем у органических жидкостей. Время экономится между циклами из-за выдающейся резистентности силиконовых жидкостей Dow Corning к окислению и гидролизу, что позволяет производить вакуум без охлаждения насоса.

Основными показателями, которыми отличается качественное вакуумное масло, являются вязкость, давление насыщенных паров, предельное остаточное давление, а также стабильность против окисления.
В качестве рабочих жидкостей для диффузионных вакуумных насосов, широкое распространение получили ВМ-1, ВМ-1с, ВМ-5, ВМ-5с.В паромасляных вакуумных насосах, используемое вакуумное масло должно обладать низкой упругостью пара при рабочей температуре в насосе и термической стойкостью, а также быть химически инертным по отношению к кислороду воздуха и откачиваемым газам. Серьезными недостатками нефтяных масел является их чувствительность к перегреву и окисляемость при контакте в разогретом состоянии с воздухом. При перегреве происходит разложение масла с образованием гаммы легких углеводородов, в результате чего изменяются упругость паров и характеристики насоса. Окисление масла может вызвать осмоление насоса и резко изменить его характеристики.
Кремнийорганические жидкости (силиконовые) ПФМС-2/5л, DC-704, DC-705 более однородны по составу и выдерживают длительное нагревание на воздухе до температур 150—200°С, по­этому они более удобны для использования в диффузионных насосах. Однако использование силиконовых масел сдерживается сложностью их получения и более высокой стоимостью.
В механических насосах вакуумное масло необходимо для герметичности рабочих камер механизма. В механических вакуумных насосах, возможен прорыв газа через зазоры между трущимися частями со стороны сжатия на сторону впуска. Для уплотнения зазоров и смазки трущихся деталей в насосах многих типов применяют вакуумное масло ВМ-4 и ВМ-6. Наиболее важным требованием, предъявляемым к маслам для механических вакуумных насосов, – это их вязкость. Ведь именно вязкость влияет на уплотняющие и смазывающие свойства.